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國內首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運

王輝 中國證券報·中證網

  2月7日,國內首臺2.5D/3D先進封裝光刻機發運儀式在上海微電子裝備(集團)股份有限公司(簡稱“上海微電子”)位于上海浦東張江的公司總部舉行。上海電氣黨委書記、董事長冷偉青在現場致辭中表示,先進封裝光刻機作為集成電路核心設備是必須突破的關鍵核心技術之一。上海電氣創造了國家和世界的許多行業第一。國內首臺2.5D/3D先進封裝光刻機為上海電氣新添光彩一筆。

  上海電氣副董事長兼上海微電子黨委書記、董事長干頻在致辭中表示,本次發運的國內首臺2.5D/3D先進封裝光刻機,是量產封裝光刻機的一次全面升級,具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面積,將助力客戶實現芯片的異構集成,以相對較低的成本實現芯片系統的性能提升。上海微電子副總經理黃棟梁介紹,新技術在高端、先進芯片上得到應用,行業對封裝光刻機提出了更大曝光面積、更高分辨率、更高套刻精度的要求。

  近年來,上海微電子緊跟行業發展趨勢,結合客戶應用需求,在上海市發改委、上海市經信委的支持下,以上海市戰略性新興產業重大項目為依托,研制先進封裝光刻機。

  資料顯示,上海微電子于2002年3月在上海電氣、上?仆兜葒Y企業支持下成立,面向半導體、泛半導體領域持續開發了一系列相關高端裝備。上海電氣集團為上海微電子第一大股東。

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